X荧光光谱仪在常规的使用过程中，需要注重保养维护，在X荧光光谱仪中，有一个重要的零部件，就是半导体探测器，需要在一定条件下保存、使用和维护。
1.正确连接设备的各个部分，尤其对偏压的极性应十分注意。
2.探测器低能辐射的半导体探测器的真空室都有一个厚度为μm量级的铍片制成的入射窗，作为射级的通道，它极易破碎，因此不宜直接对铍窗吹气，也不能用刷清洗。
3.对用液氮冷却的半导体探测器，必须及时补充液氮。因为当温度升高时，原来在漂移过程中形成的中性离子就会离解，这称为“反漂移”，会导致半导体探测器性能下降，甚至损坏。
4.偏压(100~1000V)是经过探测器直接接到前置放大器*级场效应管的栅极上。由于半导体反接，偏压几乎全部降在探测器上，而栅极上电压降很小，当偏压突然上升或下降时，在高压电脉冲的冲击下，场效应管易损坏。因此半导体探测器的偏压必须用连续可调的高压电源，缓慢增减。每次开始工作时，由零缓慢、均匀地调至工作电压，每一步不少于1min。
5.防潮。潮湿会导致绝缘子及高压回路漏电。铍窗及真空室积水会损坏铍窗，造成漏气。除经常擦拭之外，好的方法是用一个大的塑料袋把探测器和低温容器的出口一起罩上。由出口不断蒸发出来的低温干燥氮气逐渐赶去罩内的空气和水分，并保持很小的压力，保持罩内小范围干燥。
科学做好维护保养工作，是让X荧光光谱仪使用更久的保障。
